
なぜ私たちは工場で従来のオーブンの代わりにIRを使うのか? もし今、クリーンルームの更新を検討しているのであれば、おそらく大変な状況に置かれていることでしょう。省エネ目標を達成しなければならず、鉛フリー規制も守らなければならず、時間は絶えず過ぎていきます。 従来の対流式オーブンでは、処理に時間がかかりすぎます。ウェハー周辺の空気を加熱するのに半分の時間が費やされてしまい、結局は無駄なコストと電力の消費になってしまいます。そのため、私たちは赤外線(IR)を利用した硬化処理に切り替えました。
愛用する部分に直接熱を与える
IRの利点は、空気の影響を受けない点です。電磁波を直接コーティングや接着剤に当てるのです。 つまり、直接効果があります。 部品が高温の中で何時間も待つ必要はなく、化学反応は数秒で起こります。非常に速いのです。これにより、エネルギーコストや処理時間が大幅に削減されます。
「鉛フリー」への移行の難しさ
鉛フリーのはんだや接着剤に切り替えるのは、単純に容器を交換するだけでは済みません。これらの材料は要求が厳しく、より高い温度と精密な温度管理が必要です。 もし加熱が不均一だと、気泡や剥離が発生します。それは大変な問題です。 一方、IRランプを使えば、材料が吸収しやすい波長に調整することができます。また、燃焼ガスや有害な排出物も出ません。クリーンルームの清潔さを保ちつつ、部品も正しく加工されます。
注意点とその対処法
IRは強力ですが、無闇に強度を上げるわけにはいきません。 もしワット数を急激に上げすぎると、表面が瞬時に硬化し、下層の溶剤が閉じ込められてしまいます。さらに悪いことに、基板が変形する可能性もあります。 対策としては、段階的に温度を上げていく方法があります。部品をライン上で移動させる際に、圧力によって部品が壊れないようにバランスを取る必要があります。 しかし、その効果は大きいです。巨大で重いオーブンの代わりに、コンパクトなIRトンネルを使用できます。そうすれば、工場のスペースを有効活用でき、これまで欲しかった追加の処理装置も設置できます。