省エネ型ウェーハヒーター

ウェーハヒーターが混乱を引き起こすのを防ぎましょう。 高負荷な環境下では、ランプが壊れると大変な問題になります。単に稼働停止だけでなく、後片付けも大変です。石英製のケースが破裂すると、ガラスの破片や金属の汚れがウェーハの上に降り注ぎます。その結果、作業したウェーハは使い物にならなくなり、何時間もか...