ウェーハツール用温度センサー

ライン上では、300 mmウェハーがソフトベイクを待機しており、これがライン幅制御を決定づける。ホットプレートの温度プロファイルに2°Cの乱れがあれば、重要寸法が1 nm以上変動する。温度がずれるたびに、廃棄されるロットが増えることになる。この環境に対応するために、当社はウェハーツール用の温度セン...