省エネ型半導体ヒーター

なぜ半導体の加熱に赤外線を使うのか？ 長い間、半導体を加熱するには熱風を利用するのが一般的だと思われてきました。しかし正直に言って、これは非効率的です。空気は極めて悪い伝導体です。空気が十分に温まるのを待つだけで数分もかかり、その後、その熱がウェーハに伝わるのをさらに長い時間待たなければなりません...