空気を加熱するのをやめて、部品自体を直接加熱しましょう。 半導体クリーンルームでは、間違ったものを加熱することは、単なる電力の無駄遣いにとどまらず、安全上の大きな問題となります。 従来の対流式ヒーターを使う場合、実質的には空気や機器全体が温められてしまいます。その結果、内壁が極端に高温になり、作業...

ウェーハの加熱を適切に行うには クリーンルーム内で赤外線ランプを使用する際、目指すべきは単純です。つまり、熱を正確に必要な場所に届けることです。無駄な電力の消費は避けたいし、環境を壊してしまうことも絶対に避けたいのです。そのために、私たちは金コーティングされた反射板を使用します。これにより、赤外線...

なぜ私たちは工場で従来のオーブンの代わりにIRを使うのか？ もし今、クリーンルームの更新を検討しているのであれば、おそらく大変な状況に置かれていることでしょう。省エネ目標を達成しなければならず、鉛フリー規制も守らなければならず、時間は絶えず過ぎていきます。 従来の対流式オーブンでは、処理に時間がか...

300mmウェーハを扱う場合、ソフトベイクの際に0.3℃の変動があるだけで、CDバイアスが規格外になり、一連の製品が廃棄処分となってしまいます。熱管理において、これ以上の変数は不要です。当社のクリーンルーム用赤外線ヒーターは、このような不確実性を排除するために設計されています。 技術的に重要な点...

冷たい床や風が漏れる角々は、家を単なる通過点にしてしまいます。私たちは、その問題を解決するために赤外線式の部屋用ヒーターを開発しました。これにより、確実で信頼性の高い暖かさを、より多くの家庭で利用できるようになります。 内部構造の重要性 赤外線式の部屋用ヒーターは、太陽光と同じ原理で動作します。つ...

ファブフロアでは、0.2℃の変動であってもフォトレジストの焼成が重要寸法を変化させ、多くのウェハが廃棄されることになります。この変動を排除するために、半導体クリーンルームトロリー加熱器を開発しました。 技術的に重要なのは、ロード全体にわたる温度均一性—±0.1℃—と、ソフトベークおよびハードベーク...