空気を加熱するのをやめて、部品自体を直接加熱しましょう。
半導体クリーンルームでは、間違ったものを加熱することは、単なる電力の無駄遣いにとどまらず、安全上の大きな問題となります。
従来の対流式ヒーターを使う場合、実質的には空気や機器全体が温められてしまいます。その結果、内壁が極端に高温になり、作業員が火傷を負ったり、保護しようとしている敏感な部品が損傷したりする可能性があります。
私たちは異なる方法を採用しています。方向性赤外線技術を利用するのです。
物理学的な仕組み
赤外線ランプは空気のことは気にしません。直線的に放射される光線が、何かの物体に当たった時だけエネルギーを伝達します。焦点距離を調整し、ランプの位置を適切に設定することで、熱をウェーハや基板に直接当てることができます。周囲の装置は冷たいままで済みます。つまり、部品だけが加熱されるのです。
制御と安全性
短波長の赤外線を使用することで、集中した光束を得ることができます。これにより、「熱の拡散」という問題を防ぐことができます。また、PIDコントローラーと組み合わせることで、瞬時に反応します。スイッチを入れた瞬間に熱が発生し、電源を切ればすぐに熱は消えます。そのため、機器の筐体が余分な熱を吸収することはありません。
デメリット
ただし、欠点もあります。高強度の赤外線ランプは、ごく小さな面積に大量のエネルギーを集中させるため、急速に温度が上昇します。しかし、そのランプ自体も非常に熱くなります。もし換気システムが十分でなければ、配線やコネクタが損傷する可能性があります。したがって、このような強力な熱エネルギーを適切に冷却する仕組みが必要です。そうしないと、思ったより早く部品を交換しなければならなくなります。
環境の熱と戦うのをやめて、部品自体を直接加熱しましょう。そうすれば、壁面は冷たいままで済みます。