IR加熱を使って無鉛硬化処理を正しく行うには
ガウンボックス内で作業を行い、厳格な無鉛化や環境に優しい製造要件を満たそうとすると、従来の方法では不十分です。私たちは赤外線（IR）加熱装置を採用しています。これにより、部屋全体の空気を温める必要がなく、エネルギーを直接基板に伝えることができます。まさに的確な加熱方法です。
なぜこれが地球にも、またコスト面でも有益か
通常の対流オーブンを考えてみてください。部品を温めるために大量の不活性ガスを温めるために莫大なエネルギーが必要です。時間もかかり、効率も悪いです。
しかしIR加熱ではそうではありません。熱が直接ウェーハに伝わるため、周囲の空気を温めるためのエネルギーの無駄がありません。排出されるのは排気ガスや燃焼副産物、有害物質は一切ありません。純粋な電気熱だけです。シンプルです。
実際の性能
私たちは短波および中波のスペクトルに注力しています。なぜかというと、その熱が表面だけでなく、硬化層の奥深くまで届く必要があるからです。
最も優れているのは速度です。これらのヒーターは数秒で温度が上昇します。
しかし、これは魔法ではありません。注意点もあります。熱が非常に強く集中するため、注意が必要です。もしガウンボックスの空気の流れが悪ければ、ウェーハに熱の偏りが生じてしまいます。目標温度を超えないように、PIDコントローラーを適切に調整する必要があります。
ガウンボックス内での利用
真空封止されたガウンボックス内ではスペースが限られていますが、これらのヒーターはちょうど良いサイズに設計されています。また、ヒーターが部品に直接触れないため、物理的な汚染の心配もありません。
無鉛のはんだや樹脂を使用するのは難しいです。なぜなら、適切な温度範囲が狭いからです。少しでも外れると、全ての製品が不良品になってしまいます。
IR加熱を利用すれば、出力を調整できます。これらのヒーターを変調式電源に接続すれば、基板の厚さに応じて出力を調整できます。これが、半導体の信頼性を確保する唯一の方法です。