バスルームの適切な温度を実現するために 赤外線ヒーターのワット数を間違えると、厄介な問題が生じます。冷たい場所ができてしまったり、電気代が無駄になってしまったりします。 私たちが作る交換用部品はIP65規格に対応しており、これはつまり、蒸気や水しぶきがかかっても壊れないということです。しかし、密封...

ウェーハ乾燥装置は、スピントラックとホットプレートのちょうど真ん中に位置しています。もしそのランプの位置がずれると、温度均一性が失われてしまいます。その結果、ソフトベイクやハードベイクの温度も不安定になり、寸法のばらつきも生じます。これにより、不良品が増えたり、再加工が必要になったり、予期せぬ停止...

製造現場では、RTPツールは単なる背景ノイズではない。フォトレジストのベイク、活性化、アニールのペースを設定する熱的メトロノームであり、すべてのランで重要な役割を担っている。ハロゲンランプスタックがドリフトし始めると、温度プロファイルもそれに伴って変動する。ソフトベイクの再現性が失われ、ハードベイ...