ランプ用SCR電力レギュレータ

ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際に0.1℃の温度変動があっただけでも、オーバーレイやCDの均一性が崩れてしまいます。一度そうなってしまうと、何時間もかけて行われたリソグラフィ処理が台無しになってしまいます。そのため、私たちはランプ用のSCR電力調整器を開発しました。これにより、熱的条件...