半導体クリーンルームトロリー加熱器

ファブフロアでは、0.2℃の変動であってもフォトレジストの焼成が重要寸法を変化させ、多くのウェハが廃棄されることになります。この変動を排除するために、半導体クリーンルームトロリー加熱器を開発しました。 技術的に重要なのは、ロード全体にわたる温度均一性—±0.1℃—と、ソフトベークおよびハードベーク...