ウェーハ乾燥機用ランプ交換用電球

ウェーハ乾燥装置は、スピントラックとホットプレートのちょうど真ん中に位置しています。もしそのランプの位置がずれると、温度均一性が失われてしまいます。その結果、ソフトベイクやハードベイクの温度も不安定になり、寸法のばらつきも生じます。これにより、不良品が増えたり、再加工が必要になったり、予期せぬ停止...