赤外線ソフトベイクランプ

ファブのライン上で、ソフトベイクという工程は単なる予熱段階ではありません。ここで初めて、ウェーハの線幅や歩留まりが正確に決定されます。わずか数度の温度変動でも、重要な寸法の制御が乱れたり、ウェーハの側壁の形状が変わったりしてしまい、すでに工程を通過したウェーハが廃棄されることもあります。私たちは、...