なぜ、すべての部品をテストするのか？（そして、それがあなたの製造工程にとってなぜ重要なのか） 高精度な製造環境では、わずかな電気的漏れだけで問題が発生します。たった1つの漏れでも、一括してウェーハが廃棄されたり、生産ライン全体が停止してしまうこともあります。 だからこそ、私たちは「バッチサンプリン...

電球が破損するという悪夢を防ぐには 高負荷の製造現場で働いたことがある人なら、その苦しさはよくわかるでしょう。赤外線ランプが破損すると、それは単なる技術的なトラブルではありません。それはまさに災害です。 電球が壊れると、単に動かなくなるだけではありません。ガラスの破片や化学物質がウェーハに飛び散り...

カーボンファイバー製の赤外線ランプを破損から守る方法 カーボンファイバー製の赤外線ランプは、非常に過酷な環境で動作します。激しい熱にさらされる上、実際に危険なのは、カーボンフィラメントがエンドキャップと接している部分です。 もし絶縁体にわずかな隙間があれば、問題が発生します。その結果、アーク現象が...

なぜ私たちは工場で従来のオーブンの代わりにIRを使うのか？ もし今、クリーンルームの更新を検討しているのであれば、おそらく大変な状況に置かれていることでしょう。省エネ目標を達成しなければならず、鉛フリー規制も守らなければならず、時間は絶えず過ぎていきます。 従来の対流式オーブンでは、処理に時間がか...

化学工場での乾燥処理を安全に行うための方法：IR乾燥装置のより良い取り扱い法 正直に言って、化学工場における乾燥工程は非常に危険なものです。空気中には揮発性の高い洗浄剤が漂っており、さらに高強度の赤外線ランプが使用されます。もしランプが故障したり、電気的な短絡が起きたら、まるで燃料があふれる部屋に...

ファブ内で無駄にエネルギーを使うのはやめましょう。 ウェーハを硬化させる際、より多くの電力を使えば良い結果が得られると思いがちです。しかし実際には、そのエネルギーがウェーハに届かなければ意味がありません。 一般的な石英ランプを考えてみてください。このランプは360度全方位に熱を放出します。もしその...

なぜ、無鉛製造においては赤外線ハロゲン管を使用し続けるのか ステンレス製のヒーターハウジングを作る際、私たちは常に同じ要素から始めます。それが短波長の赤外線ハロゲン管です。 半導体製造においては、無鉛化や環境規制への対応は選択肢ではありません。それは必須条件です。赤外線照射による硬化処理は、ライン...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストを加熱する際に1℃もの温度変動があるというのは、「わずかな偏差」とは言えません。それは、単純に歩留まりに悪影響を与える要因です。ウェーハは厳格な熱管理が求められます。もし加熱装置が均一な温度を維持できない場合、視野内に欠陥が生じたり、再現性の問題が発生し...

フレキシブルディスプレイの製造現場において、フォトレジストのベイクは単なる「加熱」ではない。これはサーマルバジェットの管理であり、温度の変動が完成デバイスの寸法誤差に直結する。ソフトベイクやハードベイクのプロファイルが少しでもズレると、脆弱な基板上の歩留まりは急激に低下する。 技術的に重要な点 乾...