RTPハロゲンランプ交換

製造現場では、RTPツールは単なる背景ノイズではない。フォトレジストのベイク、活性化、アニールのペースを設定する熱的メトロノームであり、すべてのランで重要な役割を担っている。ハロゲンランプスタックがドリフトし始めると、温度プロファイルもそれに伴って変動する。ソフトベイクの再現性が失われ、ハードベイ...