UHP 超高純度 ヒーターランプ

半導体製造装置の熱漏れを防ごう 高性能な半導体製造装置を扱ったことがある人なら、この問題がどんなものかよく知っているでしょう。ウェーハを適切な温度に保とうとしているのに、何らかの理由で装置の内壁が異常に熱くなってしまいます。これは大変な問題です。赤外線エネルギーがあちこちに散乱すると、電力の無駄遣...