なぜホットエアを捨てて金メッキ処理を採用するのか ホットエアについて正直に言えば、効率が悪いのです。まず空気を加熱し、その後でその空気が部品を温めるという仕組みです。半導体製造の世界では、この中間段階は時間の無駄に過ぎません。長い準備時間の間、ずっと時計を見ているだけで、熱がウェーハ全体に均等に届...

ファブラトリーでは、ソフトベイクやハードベイクというのは単なる「加熱工程」に過ぎません。それらはプロセス制御のポイントであり、2℃の誤差でもウェーハの幅を正確に制御することが難しくなります。2700Wのクリアクォーツ製赤外線管は、回ごと、ウェーハごとに高温状態を維持するために設計されています。 技...