ウェハ硬化ランプ用リフレクター

ファブフロアでは、フォトレジストのプロファイルがソフトベイクおよびハードベイクで確定される。ウェーハ全体でわずか0.5度の温度変動が、クリティカルディメンションのシフト、オーバーレイのズレ、そして数時間に及ぶリソグラフィ作業の無駄を招くことがある。硬化ランプのリフレクターは単なる受動部品ではなく、...