電球が破損するという悪夢を防ぐには 高負荷の製造現場で働いたことがある人なら、その苦しさはよくわかるでしょう。赤外線ランプが破損すると、それは単なる技術的なトラブルではありません。それはまさに災害です。 電球が壊れると、単に動かなくなるだけではありません。ガラスの破片や化学物質がウェーハに飛び散り...

ファブラトリーでは、ソフトベイクやハードベイクというのは単なる「加熱工程」に過ぎません。それらはプロセス制御のポイントであり、2℃の誤差でもウェーハの幅を正確に制御することが難しくなります。2700Wのクリアクォーツ製赤外線管は、回ごと、ウェーハごとに高温状態を維持するために設計されています。 技...