クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

300mmウェーハを扱う場合、ソフトベイクの際に0.3℃の変動があるだけで、CDバイアスが規格外になり、一連の製品が廃棄処分となってしまいます。熱管理において、これ以上の変数は不要です。当社のクリーンルーム用赤外線ヒーターは、このような不確実性を排除するために設計されています。 技術的に重要な点...