ウェーハ用高精度IRセンサー

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために ウェーハを処理するとき、ほんのわずかなほこりでさえも大問題です。それは生産効率を著しく低下させます。問題は、一般的な加熱要素が「汚れている」ということです。必要な時には、微細な破片やガスが発生してしまいます。 そのため、私たちは赤外線ラン...