交換用ヒーター要素 IP65
バスルームの適切な温度を実現するために
赤外線ヒーターのワット数を間違えると、厄介な問題が生じます。冷たい場所ができてしまったり、電気代が無駄になってしまったりします。
私たちが作る交換用部品はIP65規格に対応しており、これはつまり、蒸気や水しぶきがかかっても壊れないということです。しかし、密封...
グローブボックス用赤外線ヒーター要素
IR加熱を使って無鉛硬化処理を正しく行うには
ガウンボックス内で作業を行い、厳格な無鉛化や環境に優しい製造要件を満たそうとすると、従来の方法では不十分です。私たちは赤外線(IR)加熱装置を採用しています。これにより、部屋全体の空気を温める必要がなく、エネルギーを直接基板に伝えることができます。まさ...
ウェーハ酸化用加熱素子
製造現場において、酸化処理中の温度変動は、単に歩留まりを低下させるだけでなく、それを完全に破壊してしまうこともあります。ウェーハ上の数十分の度の温度差があるだけで、酸化膜の厚みの不均一性やゲート酸化膜の損傷リスク、そしてフォトレジストの乾燥過程でのばらつきが生じ、これが直接リソグラフィ工程に影響を...