なぜホットエアを捨てて金メッキ処理を採用するのか ホットエアについて正直に言えば、効率が悪いのです。まず空気を加熱し、その後でその空気が部品を温めるという仕組みです。半導体製造の世界では、この中間段階は時間の無駄に過ぎません。長い準備時間の間、ずっと時計を見ているだけで、熱がウェーハ全体に均等に届...

半導体製造装置での熱の無駄遣いを止めよう 標準的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。そのようなランプを狭い機器ケースの中に詰め込むと、その“360度全方位への放熱”が大きな問題となります。 熱が機器の内壁に当たり、筐体全体が巨大なラジエーターのようになってしまいます。こ...