クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために ウェーハを処理するとき、ほんのわずかなほこりでさえも大問題です。それは生産効率を著しく低下させます。問題は、一般的な加熱要素が「汚れている」ということです。必要な時には、微細な破片やガスが発生してしまいます。 そのため、私たちは赤外線ラン...

なぜ、すべてのランプ管をテストするのか？（そして、なぜそれが重要なのか） 私たちは「抜き打ち検査」は行いません。ここでは一切ありません。私たちの工場を出るすべてのランプ管は、100％の高電圧試験や絶縁抵抗試験を受けます。 なぜでしょうか？赤外線加熱装置やスマートセンサーの世界においては、石英に微細...

装置を加熱するのはやめよう：MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際、水分を完全に取り除くことが求められます。しかし、多くの人々は、見える範囲内のすべてのものを加熱することでそれを試みています。 通常の対流式や全方位加熱では、高価な半導体製造装置が巨大...

水素センサーのヒーターが短絡しないようにするために 水素センサーを製造する際、適切な温度を維持することが何よりも重要です。しかし実際には、問題となるのは温度そのものではありません。問題なのは電気的な漏れです。 敏感なセンサーでは、ごくわずかな電流の漏れでも、測定結果を台無しにしたり、最悪の場合はセ...

ライン上では、300 mmウェハーがソフトベイクを待機しており、これがライン幅制御を決定づける。ホットプレートの温度プロファイルに2°Cの乱れがあれば、重要寸法が1 nm以上変動する。温度がずれるたびに、廃棄されるロットが増えることになる。この環境に対応するために、当社はウェハーツール用の温度セン...