ウェーハ加熱時の安全距離

クリーンルームの環境を壊さずにシリコンウェーハを加熱する方法 クラス100のクリーンルームで作業する際、たった一つのほこりの粒子でも大問題になります。シリコンウェーハを加熱するときは、材料が剥がれ落ちたり、ガスが空中に漏れ出したりしてはいけません。通常の加熱要素なんて使えません。そうしたものは粒子...