ファブ化学キャビネットヒーター

リソグラフィーの工程において、フォトレジストを加熱する際に1℃もの温度変動があるというのは、「わずかな偏差」とは言えません。それは、単純に歩留まりに悪影響を与える要因です。ウェーハは厳格な熱管理が求められます。もし加熱装置が均一な温度を維持できない場合、視野内に欠陥が生じたり、再現性の問題が発生し...