装置を加熱するのはやめよう：MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際、水分を完全に取り除くことが求められます。しかし、多くの人々は、見える範囲内のすべてのものを加熱することでそれを試みています。 通常の対流式や全方位加熱では、高価な半導体製造装置が巨大...

化学工場での乾燥処理を安全に行うための方法：IR乾燥装置のより良い取り扱い法 正直に言って、化学工場における乾燥工程は非常に危険なものです。空気中には揮発性の高い洗浄剤が漂っており、さらに高強度の赤外線ランプが使用されます。もしランプが故障したり、電気的な短絡が起きたら、まるで燃料があふれる部屋に...

フレキシブルディスプレイの製造現場において、フォトレジストのベイクは単なる「加熱」ではない。これはサーマルバジェットの管理であり、温度の変動が完成デバイスの寸法誤差に直結する。ソフトベイクやハードベイクのプロファイルが少しでもズレると、脆弱な基板上の歩留まりは急激に低下する。 技術的に重要な点 乾...