ウェーハの加熱を適切に行うには クリーンルーム内で赤外線ランプを使用する際、目指すべきは単純です。つまり、熱を正確に必要な場所に届けることです。無駄な電力の消費は避けたいし、環境を壊してしまうことも絶対に避けたいのです。そのために、私たちは金コーティングされた反射板を使用します。これにより、赤外線...

300mmウェーハを扱う場合、ソフトベイクの際に0.3℃の変動があるだけで、CDバイアスが規格外になり、一連の製品が廃棄処分となってしまいます。熱管理において、これ以上の変数は不要です。当社のクリーンルーム用赤外線ヒーターは、このような不確実性を排除するために設計されています。 技術的に重要な点...