ファブ内で無駄にエネルギーを使うのはやめましょう。 ウェーハを硬化させる際、より多くの電力を使えば良い結果が得られると思いがちです。しかし実際には、そのエネルギーがウェーハに届かなければ意味がありません。 一般的な石英ランプを考えてみてください。このランプは360度全方位に熱を放出します。もしその...

ファブフロアでは、フォトレジストのプロファイルがソフトベイクおよびハードベイクで確定される。ウェーハ全体でわずか0.5度の温度変動が、クリティカルディメンションのシフト、オーバーレイのズレ、そして数時間に及ぶリソグラフィ作業の無駄を招くことがある。硬化ランプのリフレクターは単なる受動部品ではなく、...