半導体の加熱をより持続可能なものにする（そして、問題を減らす） チップ製造において炭素中性を目指す動きは現実的です。従来の熱処理用オーブンから、赤外線加熱へと移行しています。これは理にかなっています。巨大な部屋全体を温める必要はなく、直接ウェハーの表面だけを加熱すればいいのです。 しかし、問題点も...

なぜ金コーティングされた赤外線ランプがファブにとって適しているのか 半導体製造に携わったことがある人なら、適切な温度制御を実現するのがいかに難しいかを知っているでしょう。ちょっとしたミスやわずかな温度上昇でも、大量のウェーハが廃棄処分になってしまいます。本当にストレスの多い作業です。 ほとんどの場...

なぜ半導体の加熱に赤外線を使うのか？ 長い間、半導体を加熱するには熱風を利用するのが一般的だと思われてきました。しかし正直に言って、これは非効率的です。空気は極めて悪い伝導体です。空気が十分に温まるのを待つだけで数分もかかり、その後、その熱がウェーハに伝わるのをさらに長い時間待たなければなりません...

半導体用の高精度サーミスタ：より環境に優しい工場を実現するために 半導体製造について話しましょう。誰もがカーボンニュートラルを目指していますが、正直なところ、加熱システムはその実現において非常に重要な要素です。迅速で、制御が容易で、かつ効率的な装置が必要です。それが、私たちが半導体製造装置内の赤外...

ファブフロアでは、0.2℃の変動であってもフォトレジストの焼成が重要寸法を変化させ、多くのウェハが廃棄されることになります。この変動を排除するために、半導体クリーンルームトロリー加熱器を開発しました。 技術的に重要なのは、ロード全体にわたる温度均一性—±0.1℃—と、ソフトベークおよびハードベーク...