ウェーハヒーターが混乱を引き起こすのを防ぎましょう。
高負荷な環境下では、ランプが壊れると大変な問題になります。単に稼働停止だけでなく、後片付けも大変です。石英製のケースが破裂すると、ガラスの破片や金属の汚れがウェーハの上に降り注ぎます。その結果、作業したウェーハは使い物にならなくなり、何時間もかけてチャンバーを掃除しなければなりません。
私たちは、そういう事態を防ぐためにヒーターを特別に設計しています。
熱ストレスへの対処
ほとんどのランプが壊れるのは、絶え間ない膨張と収縮に耐えられないからです。これを解決するために、高純度の融晶石英を使用しています。この素材は非常に強く、急激な温度変化にも耐えられます。また、管の壁厚も慎重に調整しています。熱が効率的に伝わるようにしつつ、管自体が十分に強くなるようにしています。もし管が薄すぎてワット数を高くしすぎると、電極が損傷し、シールも早く破損してしまいます。
セーフティネットの構築
たとえ最良の石英を使っても、問題が起こる可能性はあります。そのため、私たちは単一の保護層だけに頼らず、二重の保護策を講じています。つまり、フィラメントを覆う保護用のカバーや特殊なコーティングを使用するのです。もし内側の管が破損しても、破片はカバーの中に留まり、ウェーハには届きません。これはまるでクリーンルームのための保険のようなものです。
安定した電力供給
電圧の急変は危険です。私たちはエンドキャップのシールを強化し、精密な接続部品を使用することで、接点での放電を防いでいます。
なぜこれが重要かというと、接続が緩むとホットスポットが発生し、それによって石英が徐々に弱ってしまい、最終的に亀裂が生じるからです。
正直に言うと、これらの安全対策を施すと、熱源とウェーハの間に少し余分な材質ができてしまいます。その結果、完全に裸のランプと比べると、熱伝達効率が少し低下します。そのため、プロセスを正常に維持するためには、わずかに電力を上げたり、保持時間を調整したりする必要があります。これは、週末を汚染されたチャンバーの清掃に費やさないための小さな代償です。