洁净室工作台红外灯

如何让晶圆获得恰到好处的热量 在洁净室中使用红外灯时，目标很明确：将热量精准地传递到需要的地方。我们当然不想浪费电能，也更不想破坏洁净室的环境。因此，我们使用了镀金反射器。这样一来，红外辐射就能直接照射到晶圆上，而不会无端加热灯体本身。 为什么选择黄金？ 大多数人会使用铝制反射器，但问题在于，铝会...