晶圆加热的安全距离

如何在不破坏洁净室环境的前提下加热硅片？ 在100级洁净室中工作时，哪怕只有一粒灰尘存在，也会带来灾难性后果。一旦开始加热硅片，就绝不能让任何物质脱落或气体泄漏到空气中。传统的加热元件根本不可用——因为它们会释放出颗粒物，而在这样的环境中，这是绝对不可接受的。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英红...