用于半导体加热器的特氟龙线

让半导体制造过程中的热量管理更加可持续（同时减少麻烦） 在芯片制造领域，实现碳中和的目标已经变得越来越重要。人们正在逐渐放弃传统的加热方式，转而使用红外线加热技术。这其实很有道理——既然可以直接将热量集中在晶圆表面，为何还要浪费能量去加热整个巨大的腔室呢？ 不过，要使这种技术真正发挥作用，电路系统...