用于晶圆的精密红外传感器

如何保持100级洁净室的清洁状态 在处理晶圆时，哪怕只有一粒灰尘，都会带来严重后果——它会影响产品的良率。问题在于，大多数普通加热元件其实并不干净。在需要它们保持无杂质的时刻，这些元件却会释放出气体或微小碎屑。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材质。这样的材料性能更佳。 为何要使用石...