晶圆干燥机用灯泡更换件

在芯片制造车间里，晶圆干燥机位于旋转轨道与加热板之间。如果其灯泡的位置发生偏移，那么热量分布就会变得不均匀。这样一来，软烘烤和硬烘烤的温度也会出现波动，进而导致芯片尺寸出现偏差。这无疑会造成废品、返工，以及不必要的停机时间，而这些都是人们所不愿看到的。 关键在于灯泡的质量 我们为晶圆干燥机设计的替...