停止使用传统加热方式：更聪明的MEMS晶圆干燥方法 在干燥MEMS传感器晶圆时，我们的目标就是去除其中的湿气。但问题在于，大多数人会选择通过加热整个设备来实现这一目的。 传统的对流式或全方位加热方式，其实相当于把昂贵的半导体加工设备变成了一个巨大的烤箱。设备的内部墙壁会吸收大量热量，这显然不是什么...

如何避免化学工厂发生爆炸：更安全的红外干燥方法 说实话，化学工厂中的干燥过程其实相当危险。空气中充满了易挥发的清洁剂，再加上高强度的红外灯，一旦灯光出现故障或发生电弧现象，那就相当于在充满燃料的房间里放置了一个巨大的火花源。这无疑会带来灾难性的后果。 传统的处理方式——使用开放式灯泡——已经不再适...

在柔性显示器制造车间，光刻胶烘烤不仅仅是“加热”。这是一个热预算决策——温度偏差直接导致成品器件的尺寸误差。如果软烘烤或硬烘烤曲线稍有偏差，脆弱基板上的良率会迅速下降。 技术要点 我们设计的干燥灯采用受控的短波红外线技术，使其能够快速、非接触式地照射晶圆，并将晶圆级温度均匀性控制在±0.1℃以内。...