RTP 卤素灯更换

在晶圆厂车间，RTP 工具绝非背景噪音。它是设定光刻胶烘烤、活化和退火节奏的热节拍器——每一次运行都是如此。当卤素灯组开始漂移时，温度曲线也会随之变化。软烘烤的重复性降低，硬烘烤偏离目标。整个批次中，CD 控制和膜层应力开始波动。 停机只是成本的一部分。重新认证占用计划内的维护时间，每一次非计划更...