MEMS传感器晶圆干燥加热器

停止使用传统加热方式：更聪明的MEMS晶圆干燥方法 在干燥MEMS传感器晶圆时，我们的目标就是去除其中的湿气。但问题在于，大多数人会选择通过加热整个设备来实现这一目的。 传统的对流式或全方位加热方式，其实相当于把昂贵的半导体加工设备变成了一个巨大的烤箱。设备的内部墙壁会吸收大量热量，这显然不是什么...