钨丝石英灯

在制造车间里，当温度均匀性出现偏差时，5纳米工艺线的生产就会陷入停滞状态。晶圆干燥、轻度烘烤以及重度烘烤过程都要求极高的温度均匀性——一旦温度出现波动，就可能会导致晶圆表面出现瑕疵、粘附力下降，甚至产生颗粒物，进而导致整批产品报废。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们的钨丝石英灯能够发出短波红外...