节能型晶圆加热器

避免晶圆加热器引发混乱 在高负载的晶圆处理系统中，若灯管发生故障，那简直就是一场灾难。问题不仅在于设备停摆，更在于后续的清理工作。当石英灯管破裂时，玻璃碎片和金属碎屑会掉落到晶圆上，导致晶圆报废。而你则不得不花费数小时来清理整个处理室。 我们设计的加热器就是为了防止这种情况发生。 应对热应力问题...