停止加热空气，而是直接加热需要加热的部件 在半导体洁净室中，如果错误地选择加热对象，那不仅会浪费电能，还会带来安全隐患。 如果使用传统对流式加热器，那么实际上就是在加热空气以及整个机器的机身。这样一来，机器内部的墙壁就会变得非常热，可能烫伤操作员，或者甚至损坏那些需要保护的敏感组件。 我们则采用不...

如何让晶圆获得恰到好处的热量 在洁净室中使用红外灯时，目标很明确：将热量精准地传递到需要的地方。我们当然不想浪费电能，也更不想破坏洁净室的环境。因此，我们使用了镀金反射器。这样一来，红外辐射就能直接照射到晶圆上，而不会无端加热灯体本身。 为什么选择黄金？ 大多数人会使用铝制反射器，但问题在于，铝会...

为何我们在工厂中放弃传统烤箱，转而使用红外线加热技术 如果您正在对洁净室进行升级，那么您肯定面临着诸多压力。您需要满足绿色能源标准、遵循无铅法规，而且时间紧迫。 传统的对流式烤箱效率太低了。它们把大量时间和能量用于加热芯片周围的空气，这其实是一种浪费。因此，我们选择了红外线加热技术。 将热量精确地...

在300毫米生产线中，如果软烘步骤中的温度波动达到0.3摄氏度，就可能导致CD偏移值超出标准范围，从而使得整批产品报废。因此，没有必要再引入其他变量来影响加热过程。我们设计的洁净室用红外线加热器能够有效消除这种不确定性。 从技术角度来说，关键在于： 我们使用响应速度快、光谱控制精确的短波红外线发射...

在制造车间，光刻胶烘烤温度即使偏差0.2°C也可能导致关键尺寸的变化，并将大量晶圆送入废料堆。我们开发了半导体净化室小车加热器，以消除这一变数。 从技术角度来看，负载的温度均匀性至关重要——±0.1°C——并且对于软烘烤和硬烘烤工艺的升温控制必须可重复。该加热器采用低调、适合净化室的结构，配备密封...