无臭氧红外灯

停止给机器的壁面加热吧（转而直接为晶圆加热） 有没有过这样的经历：当你靠近半导体设备时，会感觉到从设备外壳散发的强烈热量？这真是烦人的问题。普通的红外灯会把热量均匀地散发到各个方向，在空间有限的设备内部，这些热量会不断反射，最终导致设备内壁过热。 很快，设备就会出现变形，更糟糕的是，操作人员还可能...