让半导体制造过程中的热量管理更加可持续（同时减少麻烦） 在芯片制造领域，实现碳中和的目标已经变得越来越重要。人们正在逐渐放弃传统的加热方式，转而使用红外线加热技术。这其实很有道理——既然可以直接将热量集中在晶圆表面，为何还要浪费能量去加热整个巨大的腔室呢？ 不过，要使这种技术真正发挥作用，电路系统...

为什么镀金红外灯其实非常适合用于半导体制造工艺中？ 如果你有过半导体制造的经验，就会知道实现精确的温度控制是多么困难。哪怕出现一点点偏差，温度稍有上升，整批晶圆就都报废了。这确实是一件令人头疼的事情。 大多数人选择使用传统的电阻式加热器，但这类设备耗能极大。因此，我们选择了镀金红外灯来替代它们。...

为何我们选择红外线技术来加热半导体 长期以来，人们一直认为使用热空气循环的方式来加热半导体是最佳方法。但说实话，这种方法效率很低。空气的导热性极差，因此需要花费数分钟时间让空气变热，之后还要等待更长的时间才能让热量渗透到芯片中。这无疑大大降低了生产效率。 避开中间环节 红外线技术的运作方式则不同。...

用于半导体红外加热的精准热电偶：助力打造更环保的工厂 让我们来谈谈半导体制造。现在，大家都在努力实现碳中和目标，而加热系统则是实现这一目标的关键所在。人们需要的是那种响应迅速、易于控制且效率极高的加热装置。正因如此，我们才为半导体生产设备中的红外加热灯系统设计了专用热电偶。 这些热电偶能够确保关键...

在制造车间，光刻胶烘烤温度即使偏差0.2°C也可能导致关键尺寸的变化，并将大量晶圆送入废料堆。我们开发了半导体净化室小车加热器，以消除这一变数。 从技术角度来看，负载的温度均匀性至关重要——±0.1°C——并且对于软烘烤和硬烘烤工艺的升温控制必须可重复。该加热器采用低调、适合净化室的结构，配备密封...