用于光刻机的石英玻璃防护罩
避免红外灯爆炸带来的灾难 如果您曾在高负荷的制造环境中工作过,那么您一定了解那种状况。红外灯的爆炸并非单纯的技术故障,而是一场真正的灾难。
当红外灯损坏后,它不仅会停止工作,还会让碎片和化学物质溅到晶圆上。这样一来,晶圆的合格率就会下降。这不仅会造成混乱,还会带来高昂的成本,真是令人头疼的问题。...
钨丝石英灯
在制造车间里,当温度均匀性出现偏差时,5纳米工艺线的生产就会陷入停滞状态。晶圆干燥、轻度烘烤以及重度烘烤过程都要求极高的温度均匀性——一旦温度出现波动,就可能会导致晶圆表面出现瑕疵、粘附力下降,甚至产生颗粒物,进而导致整批产品报废。
从技术层面来看,重要的是什么? 我们的钨丝石英灯能够发出短波红外...
透明石英红外线管 2700瓦
在芯片制造过程中,软烘和硬烘并非单纯的“加热步骤”,而实际上是工艺控制的关键点。哪怕温度变化只有2摄氏度,都可能影响芯片的尺寸精度。2700瓦特的透明石英红外管能够精确控制热量,从而确保每次烘烤时温度都保持稳定。
从技术上来说,重要的是响应速度和重复性。该红外管通过透明石英外壳发射短波红外光,因此...
晶圆用红外石英灯
在光刻车间,光刻胶烘烤过程中温度漂移0.3°C,足以将受控工艺变成报废。晶圆热预算不可协商——要么严格控制,要么承担损失。我们基于这一现实设计了红外石英灯,因为工艺要求可重复的加热,毫无例外。
技术关键点
我们采用短波红外石英发射器,实现快速、直接的能量传递,响应时间低于一秒。晶圆表面热均匀性控制...