停止加热空气，而是直接加热需要加热的部件
在半导体洁净室中，如果错误地选择加热对象，那不仅会浪费电能，还会带来安全隐患。
如果使用传统对流式加热器，那么实际上就是在加热空气以及整个机器的机身。这样一来，机器内部的墙壁就会变得非常热，可能烫伤操作员，或者甚至损坏那些需要保护的敏感组件。
我们则采用不同的方法——使用定向红外技术。
其原理如下：
红外灯不会影响周围的空气，它发出的辐射是沿直线传播的，只有当辐射遇到物体时才会释放能量。通过调整焦距并恰当地放置这些灯，就可以让热量直接作用于晶圆或基板。而周围的设备则不会被加热，因为能量会直接穿过它们。这样，就能做到只加热目标部件，而不影响整个房间。
控制与安全性：
我们使用的是短波红外灯，因为这种灯能够产生高度集中的热束。这样可以避免“热量扩散”的现象——即辐射从目标物体上反射回来，从而加热机器的内部结构。此外，当这些灯与PID控制器配合使用时，响应速度会非常快。一旦打开开关，热量就会立即出现；而一旦切断电源，热量也会立刻消失。这样，机器的机身就不会长时间处于高温状态。
不过，也有缺点：
高强度的红外灯会在很小的空间内释放出大量能量，因此它们能快速升温。但同时，这些灯本身也会变得非常热。如果通风系统无法将热量从灯体中排出，那么线路就有可能被烧毁，连接器也可能会熔化。因此，必须确保有有效的冷却系统来处理这些热量，否则就需要更频繁地更换零部件了。
与其试图对抗环境中的热量，不如直接加热目标部件，同时保持墙壁的冷却状态。