氟化学试剂柜加热器

在光刻工艺中，光阻烘烤过程中的1℃温度偏差绝非“微小的误差”。实际上，这会导致产品良率下降。晶圆对温度控制有着非常严格的要求，如果加热器无法保持温度的均匀性，就很容易出现缺陷，进而影响生产效率。我们设计的这个加热器正是为了适应光刻车间的实际需求——即确保温度稳定，跟随工艺要求而非受限于车间环境。...