웨이퍼용 고정밀 적외선 센서

클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 웨이퍼를 가공할 때, 단 한 알의 먼지라도 큰 문제가 됩니다. 그 먼지는 웨이퍼의 품질을 저하시킬 뿐만 아니라, 생산성에도 악영향을 미칩니다. 문제는 대부분의 일반적인 가열 요소들이 “오염되어 있다”는 것입니다. 사...