와이퍼 산화 가열 소자

웨이퍼 제조 공정에서 산화 과정 중 발생하는 온도 변동은 단순히 생산 효율에 영향을 미치는 것이 아니라, 생산 자체를 무너뜨릴 수도 있습니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 몇 십 분의 1도 정도의 온도 변동만 있어도 산화물의 두께가 불균일해지고, 게이트 산화막의 안정성에 문제...