유연한 디스플레이 건조 램프 제조

유연 디스플레이 제조라인에서 포토레지스트 베이크는 단순한 “가열”이 아니다. 이는 열 관리 한계의 문제이며, 온도 편차는 최종 장치의 치수 오차로 직결된다. 소프트 베이크나 하드 베이크 프로파일이 조금이라도 벗어나면, 취약한 기판에서 수율 저하가 빠르게 나타난다. 기...