웨이퍼 장비용 온도 센서

라인 위, 300 mm 웨이퍼가 소프트 베이크를 기다리고 있습니다. 이 소프트 베이크는 라인폭 제어를 설정합니다. 히트플레이트 프로파일에서 2°C의 변동이 발생한다면? 이는 임계 치수를 1 nm 이상 이동시킬 수 있으며, 프로파일이 벗어날 때마다 해당 로트는 폐기물로...